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2022
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09
半導體制造
半導體器件的生產(chǎn)，除需要超凈的環(huán)境外，有些工序還必須在真空中進行。比如很多半導體器件，如光碟機(CD、VCD和DVD)和光纖通信中用的半導體激光器，雷達或衛(wèi)星通信設備中的微波集成電路，甚至許多普通的微電子集成電路，都有相當部分的制作工序是在真空容器中進行的。真空程度越高，制作出來的半導體器件的性能也就越好。現(xiàn)在，很多高性能的半導體器件都是在超高真空環(huán)境中制作出來的。
半導體制造設備大量采用步進電機、伺服電機以及精密機械傳動部件，以實現(xiàn)設備的自動化和智能化，同時也要求電機和機械傳動部件能在高真空、高低溫環(huán)境長期穩(wěn)定工作，并具有低逸氣性能，不污染真空環(huán)境。
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